能够抽出含有大量水蒸气和少量粉尘的气体时，极限真空甚至更高。它是油封/水环/喷射真空泵的更新产品。双叶设计与目前流行、应用广泛的罗茨泵非常相似。事实上，干式泵早的一些设计理念是堆叠罗茨泵。这种多级设计使气体通道相当复杂。都需要大流量的氮气来稀释和隔离。同时，为了达到良好的真空度，对各级的间隙都有非常严格的要求。当然，由于内部压缩比增加，这种设计的功耗相对较低。除了使用一对非等距螺钉外，内压缩螺钉设计和外压缩螺钉设计的基本原理非常相似。

　　由于内部压缩，这种设计将其功耗降低到与多级泵相同的水平。但在很多过程中，这种内压缩，像多级泵一样，很容易引起泵体内气体的物理化学变化，导致固化或液化。无油活塞真空泵，通过往复活塞运动，周期性地改变泵室(气缸)的工作容积来泵送空气的真空泵，也称为活塞真空泵。

　　活塞式真空泵的结构类似于往复活塞式压缩机。工作时，吸气管与真空容器相连，排气管直接与大气相连。活塞式真ayx爱游戏体育官方网站空泵可用于真空蒸馏、真空浓缩、真空结晶、真空过滤、真空干燥和混凝土真空作业。、