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氦质谱检漏仪_
时间:2024-08-14 07:34:33 点击次数:

   离子在进入第二个分析器前再次被加速 ,减少 了非氦离子到达收集器的机率

   问题一:抽真空的真空度是多少  问题二:氦质谱检漏仪的检测精度如何: 粗检和精检

  加热:产生电子 电压:给电子加速 碰撞:电离气体 均匀磁场:离子圆周运动,半径不同,离子 分离

  R为离子偏转轨道半径; B为磁场强度; M/Z为离子的质量与电荷之比; U 为离子的加速电压

  周半径不同,不同离子被分离;当R, B为固定值时, 改变加速电压,可使不同质量的离子通过磁场和接 收缝到达接收极而被检测到。

   漏点型(定性):确定要检部件的具体漏点 或漏孔的位置—喷氦法(抽真空 喷氮 检测)--注

   漏率型(定量):不确定检测器件的漏点或 漏孔的位置和数量,爱游戏只是计算漏率(在已知漏泄

   当质谱室内的总压强(线MPa 时, 电离室中由钨丝制成的灯丝启动,加热后产生高 速电子轰击离子源中的气体分子,使分子电离  大部分的气体分子都能变成离子,离子在电场中 被(加速电压)加速,从而进入与其垂直的偏转 磁场,不同质量数的离子其偏转半径不同  加速电压使得氦离子可以打到放大器的入口(电 子倍增器),从而检测出氦离子流的强度,氦离 子流与容器内的氦分压成正比,因此对氦离子的 测量可以确定被检件的漏率


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