质谱仪是在作FE测试用于检测空气中氦气分子的仪器，低温实验室的氦气质谱仪包含以下零件：主体检漏机、吸枪、卡箍、卡箍盖、真空校准漏孔、电源线。其技术参数如下：

　　a.实验之前半小时，确认机体接口、卡箍、卡箍盖连在一起并卡紧。插上电源，打开质谱仪后面的开，让质谱仪抽线分钟，准备就绪后，按显示板上的停止键，松开卡箍，将校准口装到主机接口上，拧紧卡箍，按显示板上的校准键，等机子校准结束后，上面的数值与校准口上的数值一样（如有问题在校准一次，还不行则送修），则按下停止键，拆开卡箍，装上吸枪，拧紧卡箍。

　　每次使用完设备后应将机器擦拭干净、吸枪接头松开、盖上卡箍盖，用卡箍拧紧。吸枪绕好，放在设备上方，拔掉电源线，盖上透明塑料袋。将渗氦型真空校准漏孔收到专门的盒子内。

　　b.按下爱游戏AYX官网入口登陆网址检漏键，将吸枪置于空气左右上下嗅探，测试一下环境中的HE气分子量，如果He分子量太高，则开启排风扇将实验室中的气体排出。

　　c.将吸枪探头置于离探源2-5mm的距离内嗅探，绕着探源走一圈，注意观察质谱仪上的数值，记下其瞬间最高数值。也可以根据客户要求进行测试。