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　　内容提示：v1.0 可编辑可修改1 氦质谱检漏仪使用说明书资产编号： 型号： ZQJ-542 一、设备组成及工作原理1、设备组成框图氦质谱检漏仪加压罐双级旋片真空泵电阻真空计氦气瓶重氟油粗检装置检漏盒检漏托盘氦气喷抢2、设备工作原理检漏仪内部组成：氦质谱检漏仪主要由分子泵、质谱室、组合阀体，机械泵以及控制电路板等组成。检漏仪的工作原理： 氦质谱检漏仪是根据质谱仪学原理， 用氦气作为搜索气体制成的气密性检测仪器。ZQJ-542检漏仪采用 180度磁偏转质谱室，钨制灯丝发射出来的电子经过加速进入离化室， 在离化室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入离化室的氦气互相碰撞使...

　　v1.0 可编辑可修改1 氦质谱检漏仪使用说明书资产编号： 型号： ZQJ-542 一、设备组成及工作原理1、设备组成框图氦质谱检漏仪加压罐双级旋片真空泵电阻真空计氦气瓶重氟油粗检装置检漏盒检漏托盘氦气喷抢2、设备工作原理检漏仪内部组成：氦质谱检漏仪主要由分子泵、质谱室、组合阀体，机械泵以及控制电路板等组成。检漏仪的工作原理： 氦质谱检漏仪是根据质谱仪学原理， 用氦气作为搜索气体制成的气密性检测仪器。ZQJ-542检漏仪采用 180度磁偏转质谱室，钨制灯丝发射出来的电子经过加速进入离化室， 在离化室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入离化室的氦气互相碰撞使其电离成正离子， 这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，由于不同质量数（ m/e）的离子其偏转半径不同， 这样就将不同的离子分离开了。 由于磁场参