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德国英富康UL1000 fab干式氦质谱检漏仪 泄漏探测仪
时间:2024-09-01 13:12:11 点击次数:

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  The INFICON UL1000 Fab 移动式氦气检漏仪特别设计用于满足半导体应用要求。凭借较佳环境系统优先级中的简单使用性、检漏效率性和移动性,UL1000 Fab 在所有测量范围中提供极快的泄漏率响应。

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  德国英富康UL1000 fab干式氦质谱检漏仪通过结合较高氦气抽气能力和高进气口压力的*佳线 Fab 提供的*的泄漏率低达 5x10-12 atm cc/s。砖利软件 I-CAL(智能泄漏率计算)让您忘记在低泄漏率范围检漏时较长反应时间的烦恼,因为 UL1000 Fab 能够对所有泄漏率范围做出快速响应。

  使用额外的 TC1000 测试盒配件,UL1000 Fab 氦气检漏仪为密封部件提供简单、快速、**的测试,如 IC 封装、石英晶体和激光器二极管(根据 MIL-STD 883,方1014)。

  含坚固耐用涡旋泵和多入口涡轮分子泵的智能型真空设计,提供较高氦气抽气能力和高压缩比

  自保护功能可防止 UL1000 Fab 氦气检漏仪受到氦气和微粒的污染

  含两个灯丝离子源(3 年质保)的耐用质谱系统确保了较长的运行时间和较低的维护成本

  内置软件菜单“自动测漏”功能可使用 TC1000 测试盒执行密封组件的自动测试

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