当氦气从测试口（分析仪的连接口）流入时，氦气被分析管（分析仪）检测到。该分析管为磁偏转质谱仪，分析管内部为真空。真空泵（涡轮分子泵、油旋转真空泵、干式真空泵）用于抽空分析管内部。

　　磁场偏转质谱仪的原理是离子源将所有流入分析管的气体电离，电离后的气体经磁场偏转部分过滤，只选择氦离子，然后送至离子收集板.离子收集器板以电流形式测量氦离子。换句话说，它将氦气量测量为电流。

　　家用空调、汽车空调和家用冰箱等使用制冷剂的设备使用氦气检漏仪进行氦气泄漏检测。使用氦气检漏仪进行的氦气检漏被广泛应用于灭火器、食品、电子零件、航空器、卫星等各个领域，被广泛应用于产业领域。

　　该氦气检漏仪以电流形式测量氦气量，但由于很难从电流值了解泄漏量，因此泄漏量以Pam3/sec为单位表示。在我们的行业中，我们称之为“Pascal-Lübe Parsec。这意味着在单位时间（秒：秒）内移动的气体量（绝对压力（Pa：帕斯卡）x体积（m3）） 。由于要检测的泄漏量是一个极小的值，所以一般用E(Exponentiation)表示，表示幂(如axaxa=a3) 。基于此符号的行业检查级别如下：

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