 氦质谱检漏仪结构： 尽管结构多样，但主要是尼尔型离子源。 灯丝为直径0.18～0.20mm钨丝，用灯 丝架准确安放在离化室电子入口上方约 0.5mm处，通过加热而发射电子。离化 室为扁平矩形盒，顶部和侧面各开一个 狭缝，供热电子射入和离子引出。离化 室与灯丝间加200V电压，在该电压下， 热阴极发射的电子能将离化室中的气体 电离。离化室与离子加速极间加300～ 400V可调加速电压，加速离子使之穿过 离子加速极正面的矩形缝隙进入磁分析 器。离子加速极位于离化室正面约5mm 处与外壳接地。

　　 逆流氦质谱检漏仪工作原理： 仪器的质谱室位于主泵的入口侧，被检件位于

　　主泵的前级真空一侧。漏人被检件的气体在主泵 中逆流进入质谱室，所以为逆流检漏仪。

　　扩散泵为主泵基于油扩散泵的压缩比与气体种 类有关。涡轮分子泵对质量轻的气体压缩比小。

　　 氦气质量轻，易于穿过漏孔，进入系统时流动和扩散快， 响应快，检漏灵敏度高；氦离子质荷比小，可减小磁分析 器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。

　　 一价氦离子的质荷比（M/Z=4）与相邻的一价氢离子 （M/Z=2）和二价碳离子（M/Z=6）相差较大，利于离子 的分离，可适当降低对分析器制造精度的要求，使质谱室 中氦离子通过的各个缝隙加宽，从而提高氦离子的传输率；

　　缝隙进入分析室的动量与氦离子的动量相同，就会最终进 入出口缝隙成为响应信号，从而造成较高的本底噪声。双 级串联磁偏转型检漏仪在两个分析器中间，即在中间缝隙 S2与邻近的挡板间设置加速电场，使离子在进入第二分析 器之前再次加速。因此，那些具有氦离子动量相同的其它 气体离子，虽然可以通过第一分析器，但经过第二次加速 进入第二分析器时，由于其动量与氦离子动量不同而被分 离。这样一来，使得仪器本底信号及噪声显著减小，提高 了仪器灵敏度。

　　 单级磁偏转型检漏仪的工作原理： 当B和U为定值时，不同的质荷比的离子有不同

　　的偏转半径。只有离子的偏转半径与分析器的几 何半径（离子入口缝S1和出口缝S2所在圆的半径） 相等的离子束才能通过出口缝隙S2，到达收集极 D形成离子流。而其它质荷比的离子束则以不同于 分析器几何半径的偏转半径而被分离掉。

　　的气体样品并将其电离，根据不同种类气体离子 质荷比不同的特点，利用磁偏转分离原理将其区 分开来。仪器只对其示漏气体氦气有响应信号， 而对其它气体没有响应，属于唯一性检漏仪器。 仪器主要由质谱室、真空系统和电气部分组成。 一旦出现信号响应，说明有氦气通过漏孔进入被 检件中，从而指示漏孔的位置与大小。氦质谱检 漏仪是一种磁偏转型质谱分析仪器，目前主要有 单极磁偏转型和双级串连磁偏转型二种结构型式。

　　 单级磁偏转型检漏仪的工作原理： 为了使离子流信号有一定的量值，质谱室中的

　　离子出口缝隙S2有一定宽度。加速电压U有一个 调节范围，调加速电压使检漏仪输出信号最大， 此时的加速电压称为“氦峰”。

　　例如，某台检漏仪，R=4㎝，B=0.14T，示漏气体为He （其一价氦离子的质荷比M/Z=4），问其加速电压应调到 多大才可进行检漏？

　　 氦在空气中及残余气体中含量最少，ayx爱游戏体育官方网站空气中氦气约只占二 十万分之一；在材料出气中氦气也很少，因此本底压力小， 检漏时本底信号小。

　　 氦又是惰性气体，性质不活泼，不与真空器件起化学作用。 无毒，不会污染环境，使用也十分安全。

　　 不足：橡胶、塑料等有机材料常常会吸收氦，然 后还会在吸收后慢慢的释放出来；所有的离子收 集板，对氦都会产生记忆效应，即氦离子打到离 子收集板上，并贮存Baidu Nhomakorabea定时间，然后再慢慢释放 出来，从而造成本底和噪声。

　　 单级磁偏转型检漏仪的工作原理： 180°单极磁偏转型检漏仪的质谱室由灯丝、离

　　化室和加速极组成离子源；由外加均匀磁场构成 分析器；由出口缝隙、抑制栅和收集极构成收集 器。

　　 单级磁偏转型检漏仪的工作原理： 在离子源内，气体分子被由灯丝发射的并具有一

　　定能量的电子电离，在电场作用下离子聚焦成束， 并在加速电压作用下，以特定的速度经过离子加 速极的缝隙进入分析器。在分析器中，在与离子 运动方向相垂直的均匀磁场作用下，具有一定速 度的离子将按圆形轨道运动：

　　氦质谱检漏仪是一种以氦气作为示漏气体专门 用于检漏的质谱分析仪器。这种仪器在真空以及其 它相关行业的检漏技术中使用范围最广、性能最好、 灵敏度最高。

　　氦质谱检漏仪是磁偏转型质谱分析仪器，单级 磁偏转氦质谱检漏仪的工作压力为10-2-10-3Pa，灵 敏度为10-9-10-12Pam3s-1。近年来发展的逆流型氦 质谱检漏仪改变了仪器的结构布局，被检件置于主 泵的前级，适用于大漏率或真空卫生较差的检漏， 其灵敏度可达10-12Pam3s-1。

　　 其它：还可以用氢等做示漏气体，这须调整加速 电压或磁感应强度，其灵敏度远比以氦作为示漏 气体低。且危险。

　　 质谱室：质谱室是检漏仪的心脏，由离子源、分 析器和收集器三部分组成。还有将冷阴极磁控规 也放在其内，共用其磁场。为了有利于微小的离 子流放大，将第一级放大用高阻及静电计管也放 在质谱室之内。质谱室壳由非磁性材料制成，内 部抽空，外部设置永久磁铁形成磁分析器的磁场