氦质谱检漏的检测精度高，可达到1×10-7Pa·m3/s。电池氦检前先将电池里的空气抽掉，注入氦气，用氦质谱检漏仪探测有没有氦气漏出，氦检漏仪器，从而判断电池的气密性是否完好。电池氦检一般为两种方式：一种是在电池生产的中间环节，即在电池烘干注液之前进行检漏，电芯在真空箱内充氦气及检测，此法可以检测电池盖板、盖板焊接及电芯壳体等部位的气密性是否达标；另一种是在成品环节检漏，电芯在箱外充氦，电芯注入电解液的将氦气充入电芯内部，空调蒸发器氦检漏仪器，将电池放入真空箱内进行检漏。

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　　氦质谱检漏仪一般由质谱管，冷凝器氦检漏仪器，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器;真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以一定能量注入质Zui分析器，

　　目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质Zui分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。

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　　主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成，离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子，分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同；在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，再设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙；打在收集器上，收集放大器收集氦离子流并出入到电流放大器，通过测量离子流就可知漏率。

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