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半导体配管配件检漏用氦质谱检漏仪
时间:2024-10-16 21:53:53 点击次数:

  伯东公司成立于1953 年,范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司()主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作,集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市:北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念,已累计为超过10,000家企业提供真空服务,覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。上海伯东代理品牌包含:德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Brooks Polycold 制冷机,美国HVA 真空阀门,美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机,离子蚀刻机,真空镀膜系统及配套真空零配件等。上海伯东作为国际真空品牌代理商,全权负责在中国地区的销售和维修服务,99% 使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师;拥有*的拆解,维修,校正能力并提供24小时在线服务。

  上海伯东氦质谱检漏仪客户案例: 某专门生产半导体配管配件工程公司, 定制不锈钢管, 配件和歧管广泛应用于半导体厂务端, 用于输送高压氧气, 氢气等. 客户从现场量测管路, 然后对不同管路的口径进行焊接, 产品漏率值需要达到 1E-9mar l/s.半导体配管配件检漏用氦质谱检漏仪

  上海伯东客户某专门生产半导体配管配件工程公司, 定制不锈钢管, 配件, 阀门和歧管广泛应用于半导体厂务端, 用于输送高压氧气, 氢气等. 客户从现场量测管路, 然后对不同口径的管路进行焊接, 因半导体行业的苛刻使用要求, 产品漏率值需要达到 1E-9mar l/s, 因此需要进行泄漏检测, 已验收管件是否达标. 客户对检漏效率要求较高, 需要在生产线使用且方便移动操作, 经过上海伯东*终选择移动型氦质谱检漏仪 ASM 390 和 ASM 392!

  半导体用真空配管检漏方法: 采用真空模式检漏, 按照下图组装样品, 在怀疑有漏的地方喷氦气(一般需要检漏的部位是焊缝或连接处), 如果有漏, 检漏仪会出现声光报警同时在屏幕上显示当前漏率值.

  将制作好的各种管件加工焊接, 然后管路连接至氦气检漏仪 ASM 390 进行检漏

  到现场配管, 所有管件组装后, 长度达好几十米, 对比之前的检漏时间, 工程花费时间可能趋近于一天, 但选用伯东 Pfeiffer ASM 390, 在整体抽校与检漏时间上, 几乎缩短了一倍时间!

  大漏模式: 定性泄漏检测从100 mbar 到20 mbar 开始(进入测试模式之前)此一区间即可进行检漏, 快速缩短检漏时间

  结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家检漏仪的技术优势, 上海伯东德国 Pfeiffer 推出全系列新型号氦质谱检漏仪, 从便携式检漏仪到工作台式检漏仪满足各种不同的应用. 氦质谱检漏仪替代传统泡沫检漏和压差检漏, 利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC.*氦质谱检漏仪应用

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