爱游戏AYX官网入口登陆网址上海伯东德国 Pfeiffer 便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 设计紧凑, 重量仅 21kg, 占用空间小, 前级泵清洁无油, 全球通用电压, 满足无任何污染工艺要求. 便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 是目前市场上同类型检漏仪最轻便紧凑的产品!

　　4. 丰富的可选配件: 吸枪, 遥控器, 小推车, 标准漏孔等, 兼容 RC 10 遥控器

　　半导体用光刻机检漏, 整机线 pa 的超高真空. 采用负压法检漏. 漏率设置 5x10-11pa m3/s.

　　内部集成红外探测器的 2m3 杜瓦封装器件, 应用于火星探测项目, 杜瓦封装器件采用真空模式检漏, 漏率要求 1.10-8Pa.m3/s.

　　超高真空真空度一般 E-7 mbar, 为保证较高的真空度, 需要对整个真空系统的焊缝, 法兰口等怀疑有漏的地方进行泄漏检测. 为保证实验腔体的清洁干燥, 选择前级泵为干泵的氦质谱检漏仪