氦检仪也称为质谱检漏仪（msld），用于定位和测量进出系统或包含设备的泄漏量。示踪气体氦气被引入到与检漏仪相连的测试部件中。通过测试部件泄漏的氦气进入系统并测量该分压并将结果显示在仪表上。4、支持各个检测阶段的阀门：抽线、用于监控输出信号的放大器和读出仪器。气体密封性能检测仪将根据差压的变化测出工件的具体泄漏量，然后判断被测工件是否合格，并将这些信息传送给操作人员。因为标准品与被测工件形状、大小都相同，并且检测过程中，两端的外部环境状况完全一样，所以这种测试方法可以消除温度、振动等环境因素的影响，得到高精度的测量结果。差压型气密仪的检测操作过程和直压型的差别主要是利用“标准品”作为参照物在相同的过程和状态条件下。

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