金融界 2024 年 8 月 31 日消息，天眼查知识产权信息显示，中科仪（南通）半导体设备有限责任公司,中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司申请一项名为“一种用于腐蚀性气体腐蚀测试的低真空实验装置“，公开号 CN9.6 ，申请日期为 2024 年 4 月。爱游戏

　　专利摘要显示，本发明公开了一种用于腐蚀性气体腐蚀测试的低真空实验装置，包括线）、排气线）、加热器、温度探测器（5）、氟气浓度探测器（4）、线）的探头向内延伸至样品方式区域，用于测量样品周围的实时温度，线）测量线）内部的线）通过阀体通断配合，实现低真空实验装置的真空保持、气体单向排出及气体内部循环流动，当氟气浓度低于设定数值时，实验装置自动排气、抽真空、补充氟气，氟气浓度及真空度达均达到设定数值后，实验装置开启气体内部循环流动功能，便于腐蚀性气体进行腐蚀测试。