真空阀门是真空系统的重要元件。对于构成管路一部分的阀门,其流导大小是一个重要的性能参数。 对于主要用来起开关气路作用的阀门,阀板关闭的密封性能也是重要的性能参数之一。密封性能是用其漏 气率来衡量的。对于主要用来调节气流大小的阀门,能够调节气次 数
注:本直角形如图19(b)所示,夹角型如图19(c)所示,漏率测量,因受仪器灵敏度的限制,测得数值 是上限,而不是实际的具体数值
为了提高阀板(或金属垫)的寿命,阀板的压下量还可以设计成可微调的。一旦原有压痕失去了应有的 密封性能时,可通过微调,使压痕再稍深一些。这样能保证密封性一能,也延长了阀板的使用寿命。
目前有关金属垫密封阀门的密封力计算通常是基于实验数据。设计者针对所设计的密封结构进行模拟 试验,确定出密封比压力,然后按照具体的密封尺寸进行计算。根据国内外有关资料,设计者可参考表3。
式中Ls-密封口中心长度,mm;fls-单位长度的密封力,N/mm;As-密封面积,mm2;fsa-单位面积的密封 力,N/mm2。
精确地计算阀板的密封力是真空阀门设计的首要问题,而正确地设计阀板压紧装置则是达到密封力的 基本保证。
压紧位置要有重合性,即每次关闭都压在同一位置上。只有这样才能保证阀门关闭性能稳定。金属 垫阀门对此要求严格,胶垫的差些;
,它的结构简单,制造容易,压紧时增力倍数较大,适于手动、电 动两种阀门;其缺点是开关阀门时间较长、传动效率较低。
现以图21超高真空阀门的具体结构来说明螺旋压紧。图中1是带刀口的阀座,2是可更换的阀板,它 由带导向槽的螺杆3带动。螺母4拧在螺杆3上,其轴向由止推轴承限定,只能转动。当螺母转动时,螺 杆3因导向键5的限制,只能作上下移动,从而带动阀板上下移动,或打开阀门或关闭阀门。这种阀的关 键是阀板关闭要有重合性。经验证明,利用阀板凸出的圆周面和阀腔的内圆柱面精加工配合,可以达到阀 板粗定位。该种结构还利用制动圈6来解决螺母退扣问题,效果很好。
螺旋压紧的螺母阻力矩的计算可参照机械设计中有关的计算。压紧后的自锁条件是
如图6所示,阀板上的斜面沿着垫块上的斜面向左滑动、阀板与垫块被撑开而将胶圈压紧密封。和螺 旋压紧类似,若斜面升角小于两者材料的摩擦角,压紧后就能实现自锁。然而对于普通钢材,摩擦角为 5。43,若要保证自锁,需斜面升角入<543。,则在极限情况下,上述阀板 需相对于斜块向左移动15mm才行。即阀板接触到胶圈后,还要相对于胶圈横向移动15mm,显然这是不能 允许的。所以这种结构要利用传动连板5转至死点来保证自锁。
为了消除图22所示的在压紧密封圈时,阀板与密封圈间的摩擦力,目前国内外都采用图23所示的压 紧密封原理。此时
链板压紧机构如图7所示。图24是典型的链板压紧力图。如果不考虑铰链的摩擦力爱游戏AYX官网入口登陆网址
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